四川某大學實驗室研究靶電流, 偏壓、沉積時間等各試驗工藝參數對兩組試樣 AlTiN 涂層力學性能的影響, 旨在找出能夠鍍制**良性能涂層的**佳工藝方案的項目中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源.
伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數:
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型號 |
RFICP140 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>600 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
14 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
5-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
24.6 cm |
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直徑 |
24.6 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
AlTiN 涂層具有高抗氧化性, 良好熱硬性, 摩擦系數低, 與基體之間結合力強, 耐磨性強等**點. 因此AlTiN涂層在機械加工行業,尤其是在刀具**域,一直是研究的熱點.
KRI 離子源的**特功能實現了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.
KRI 離子源是**域公認的**導者, 已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業標準的過程中.
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