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HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業. HVA 3位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩過渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調節器控制閥門的3種開啟方式: 一個電磁閥控制閥門的完全關閉和完全開啟, 另一個電磁閥用于控制和調節閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對清潔度要求高, 低除氣的高真空行業.
HVA 3位真空閘閥 21700 系列產品特點
1. 機械預設, 遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標準或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術參數：
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閥門材質： |
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閥門主體 |
304不銹鋼 |
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焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
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驅動軸和驅動銷 |
硬質不繡鋼 |
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閥門密封方式： |
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高真空 |
氟橡膠 |
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漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
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差壓關閉 |
1 bar |
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真空： |
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壓力范圍 |
高真空1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關閉 |
1 bar (任意位置) |
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開啟前**大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）： |
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閥門主體 |
150 °c |
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驅動方式 |
氣動 60 °c |
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使用壽命：100,000啟閉次數 |
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公稱通徑：DN100-320 mm |
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美國 HVA 真空閥門-美國**大真空閥門制造商。美國HVA原裝進口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業等**域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區**指定總代理商。
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